ミニマル ファブ

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超小型半導体製造システム

ビジネスソリューションのデザイン

独立行政法人産業技術総合研究所コンソーシアムファブシステム研究会 、ミニマルファブ技術研究組合 、テシマ デザイン スタジオ 、株式会社デザインネットワーク

グッドデザイン・未来づくりデザイン賞

ミニマルファブという概念を提案し、小型カプセルに封入されたウエハをロードして加工していく。

半導体製造工程にはクリーンルームが必要という従来の常識を覆し、驚異的なコストダウンを可能にした。

ミニマル ファブの概要ミニマルファブとは、多品種少量および変種変量生産ニーズに適応できる、まったく新しい半導体生産システムである。
ほとんど全てのデバイス1個のサイズをカバーする0.5インチ径ウエハを製造単位として、そのウエハに対応した幅約30 ㎝の共通デザインの筐体の装置群を開発し、かつ密閉搬送容器であるミニマル シャトルを用いた局所クリーン化技術でクリーンルームを不要とすることで、大型のクリーンルームを要する従来型のメガファブに比べて、製造設備投資額を従来の1/1000に抑える事が出来、地球環境対応と産業力強化の同時実現を目指すという特徴を持っている。
ミニマル ファブの製品仕様0.5インチ径ウエハを製造単位とし、デバイスの製造に必要な多様な装置群を、同じ外観デザイン、同じインタフェースで統一した、クリーンルーム不要の超小型半導体製造システム。
個々の装置サイズをW294×D450×H1440mmに統一モジュール化し、製造環境・場所・規模に応じて装置群を自在にレイアウトできるため、1個〜数十万個の変種変量、多品種少量生産を従来の1/1000という低コストで実現する。
プロデューサー独立行政法人産業技術総合研究所(茨城)コンソーシアム ファブシステム研究会 代表 原 史朗
ディレクターミニマルファブ技術研究組合 事務局長 加藤 洋
デザイナーテシマ デザイン スタジオ 手島 彰 +株式会社デザインネットワーク 二川真士
ミニマル ファブの開発・企画について企業や大学など112会員からなるファブシステム研究会共通のロゴ、マーク、フォントからなるデザインシステムを構築し、ビジュアルイメージを統一。
洗浄や露光などの工程別、研究と生産など目的別に48種(14年3月)に及ぶ装置を、W294×D450×H1440mmの統一サイズでモジュール化し、共通デザインの筐体を初期に開発したことで、研究と開発と生産が本質的に同一的なシステム装置群を構成できた。
ミニマル ファブのデザインについて親しみのある”ヒューマンスケール・マニュファクチュアリング”が、ロゴ、マーク、装置、共通のコンセプト
ミニマル ファブはその使用者・利用者にどのような価値を実現したかロゴやマークを装置の同位置に配し、統一フォントにより装置名や表記に統一性を保つことで、装置群のビジュアルイメージを統一。
更に研究資料や、展示会等のユニフォーム、名刺や資料にもマークやロゴを使用することで生産、販売、普及を視野に入れた研究であることを発信した。
これは、異なる企業や大学からなる96会員団体に対して、インターナルの円滑な コミュニケーションやモチベーションにも寄与している。
また共通装置のデザインについては、工程、目的の異なる多種の装置群に対し、操作部、表示部、警告表示、露出する機器、確認用窓部、メンテナンス部などの共通項を整理し、煩雑になりそうな部位をグレー系、プレーンなケース部をホワイト系でゾーニングし、シンプルなフォルムに落とし込んだ。
小型ながらも高品位な装置のため、ホワイト部にはパールホワイト塗装、ウエストラインは内部寸法を犠牲にせず立体感のある3D柄プリントを採用した。
ユーザーの使いやすさや商品の親切さの向上のためにデザインが特に取り組んだ事項クリーンルームを要する既存メガファブの概念と相反する『ミニマル ファブ』への想いを、親しみやすさ、人間中心の発想、移動できるサイズ感、エコロジカル、などを要素としてシンボルとして表現。
カラーには、人間中心の発想からエコロジカルなグリーン、装置として最小でありたいという願いから透明感のあるブルー、生み出されるものが人々の生活にとって輝かしいものでありたいという願いを中心の丸いイエローに込めています。
どこで購入できるか、どこで見られるか当面はミニマルファブ技術研究組合が販売窓口となる。
、産総研コンソーシアムファブシステム研究会、ミニマルファブ技術研究組合
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オフィシャルサイト https://unit.aist.go.jp/neri/mini-sys/fabsystem

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