i線スキャンフィールドステッパーNSR-SF150

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半導体露光装置

運輸・産業・土木建築関連車両・船舶、関連機器

株式会社ニコン(東京都)

2007年度 グッドデザイン賞 受賞

日進月歩で進化を続けるユキビダス産業を根底で支える高性能機器に相応しい丁寧な造り込みが感じられる。

作業者の動きや機器のメンテナンス性が緻密に考えられた筐体パネル構成や扱いやすい操作部の造り込みも機器に整然とした機能美や信頼感を与えている。

超微細IC回路を高精度でパターン転写する際の障害である微細振動の抑制を高次元で実現させた点も評価したい。

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オフィシャルサイト http://www.ave.nikon.co.jp/pec_j/products/nsr-sf150.htm

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